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[자연과학][물리화학실험] Scanning Electron Microscopy [SEM] - 예비와 결과 리포트

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작성일 20-08-25 13:19

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[자연과학][물리화학실험],Scanning,Electron,Microscopy,[SEM],-,예비와,결과,리포트,화학,실험결과

실험결과/화학

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[자연과학][물리화학실험] Scanning Electron Microscopy [SEM] - 예비와 결과 리포트







[자연과학][물리화학실험] Scanning Electron Microscopy [SEM] - 예비와 결과 리포트


Scanning Electron Microscopy (SEM)
[예비레포트(report) ]

1. 實驗(실험)목적

1. SEM 장비의 원리를 이해한다.
3. Co 박막의 위상학적 정보를 수집하며, 이를 분석하여 Co 박막의 자기적, 결정학적 성질을 발견한다

2. 實驗(실험)theory(이론)

▷ SEM(Scanning Electron Microscopy) 이란
- 고체상태에서 작은 크기의 미세조직과 형상을 觀察 할 때 쓰이는 전자 현미경

분석능력 -Resolution : 0.2nm , -Magnification : ~300000
시편에 충돌 시 발생하는 2차 전자를 사용하여 상을 만든다.
3. Co 박막의 위상학적 정보를 수집하며, 이를 분석하여 Co 박막의 자기적, 결정학적 성질을 발견한다

2. 實驗(실험)theory(이론)

▷ SEM(Scanning Electron Microscopy) 이란
- 고체상태에서 작은 크기의 미세조직과 형상을 觀察 할 때 쓰이는 전자 현미경

분석능력 -Resolution : 0.2nm , -Magnification : ~300000
시편에 충돌 시 발생하는 2차 전자를 사용하여 상을 만든다.
2. 기판 위에 얹은 Co 박막을 SEM 장비를 통해 분석한다.

장 점 단 점
초심도가 깊다
사용배율의 범위가 넓다 TEM 에 비해 해상력 낮다
기기조작 시료 취급이 용이 진공 유지가 필수적이다
분석 소요시간이 짧다 액체, 젖은 시료 취급 불가
TEM에 비해 시편준비 간편

▷ 2차 전자 발생

탄성산란(Elastic Scattering)
☞ 에너지를 잃지 않은 채 방향만 바꾼 전자
☞ 원자핵과 충돌 (backscattered electron)
☞ 시편을 빠져 나가기 전 다른 원자들과
상호작용으로 인하여 2차전자 발생
☞ backscattered electron이 전자현…(drop)

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순서
다.
2. 기판 위에 얹은 Co 박막을 SEM 장비를 통해 분석한다.

장 점 단 점
초심도가 깊다
사용배율의 범위가 넓다 TEM 에 비해...

Scanning Electron Microscopy (SEM)
[예비레포트(report) ]

1. 實驗(실험)목적

1. SEM 장비의 원리를 이해한다.
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