진공펌프의종류및특징
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작성일 20-07-24 04:06본문
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원리는 기체의 열전도율이 저압하에서는 거의 진공도(잔류기체의 압력)에 비례한다는 것이고, 구조는 필라멘트를 가진 관구의 한쪽 끝을 진공장치에 연결한 것이다. 이 필라멘트에 전류를 흘려서 전기저항을 측정(測定) 함으로써 온도를 통해 필라멘트에서 상실된 열을 알고, 그 측정(測定) 값을 통해 간접적으로 진공장치 안의 진공도를 측정(測定) 한다. 이 기종의 펌프들은 대체로 구조가 간단하고 기계적인 운동을 하지 않으므로 사용이 간편하여, 고진공을 얻는데 많이 사용되고 있다 그러나 다른 고진공용 펌프와 마찬가지로 반드시 보조펌프를 써야만 한다.진공,펌프,종류,특징,피라니게이지,공학기술,레포트
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레포트/공학기술
진공펌프의종류및특징
피라니 게이지, , 진 공 펌 프, , 파일크기 : 476K
피라니 게이지
진 공 펌 프
피라니 게이지 피라니 게이지란 저압과 진공 영역을 측정(測定) 하는데 있어 많이 쓰이는 압력게이지이다. < 그림 1. 확산 펌프의 구조와 원리 > ☞ 저온 펌프 (CRYO PUMP) ㍀K이하의 극저온 상태에서 기체를 응결시키거나 응결체 안에 가두어 둠으로써 진공 상태를 발생시키는 장치, 냉각 매체로는 주로 액화질소나 액화헬륨을 사용하는데, 초고진공…(省略)
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다. 관구에 들어가는 회로는 다음과 같은 휘트스톤 브리지이다. 위의 그림과 같이 휘트스톤 브리지에서 통상 알고자하는 저항대신 고온 필라멘트로 대치하면 튜브 속의 고온의 필라멘트가 압력에 비례하여 기체분자에 의해 열을 뺏겨 저항이 감소된다 이 저항의 變化(변화)가 검류계 A에 전류로 나타나고 가변저항 R3를 조절하여 검류계 A에 흐르는 전류를 없애면 저항 R4를 구할 수 있다 하지만 피라니 게이지는 필라멘트의 온도가 기체의 열전도에 의한 분산 뿐만이 아니고 도선에서 상실되는 열이나 주위의 온도조건 등에도 effect을 받기 때문에 자주 교정(較正)을 필요로 하는 어려운 점도 있다 진 공 펌 프 ☞ 확산 펌프 (DIFFUSION PUMP) 확산펌프는 액체(일반적으로 확산유)를 가열하여 증발시킨 다음, 이를 노즐을 통해 고속으로 분사 시킴으로써, 이때 충돌하는 공기입자를 아래로 끌어 내려 보조펌프(일반적으로 로타리 베인 펌프)를 통해 배출시키는 것이다.